Sensoren und Aktoren VZ

Lehrinhalte
  • - Sensoren:
    Sensoren für einzelne Messgrößen und deren Messprinzipien, u.a. auch mikromechanische (Tastspitzen), mikroelektromagnetische (z.B. Hall) und chemische Sensoren (z.B. Nase), Auflösung (zeitlich, Intensität, spektral, räumlich), Zeitverhalten, Sensitivität, Rauschen;
    - Verstärker und Filter: Modenanalyse, Lock-In
    - Aktoren:
    Prinzipien, physikalische Effekte, herkömmliche Aktuatoren, Mikroaktuatoren, Anwendungen, u.a. Kammaktor, Mikromotoren (elektrostatisch, elektromagnetisch, piezoelektrisch) und Getriebe, bewegliche Mikrospiegel, Ventile und Dosiersysteme, Positioniergenauigkeit, Ansteuerung, Leistungswandler, Dynamik,
    - MEMS:
    Grundlegende Methoden, MOEMS (optische MEMS), Systemaufbau, bisherige Einsatzbereiche, Kopplung von Mikrokomponenten mit der Geräteumgebung (mechanisch, thermisch, elektrisch, energetisch)